অতিস্বনক স্প্রে করা ফটোসিস্ট এবং পলিমাইড লেপগুলির জন্য একটি সহজ, অর্থনৈতিক এবং পুনরুত্পাদনযোগ্য প্রক্রিয়া। অতিস্বনক লেপ সিস্টেমটি প্রবাহের হার, লেপ গতি এবং জমার পরিমাণকে সূক্ষ্মভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে সাধারণ লেয়ারিং কৌশলগুলি ব্যবহার করতে পারে।
আল্ট্রাসোনিক স্প্রেিং প্রযুক্তি সেমিকন্ডাক্টর ফোটোরসিস্ট লেপগুলির জন্য ব্যবহৃত হয়। Traditional তিহ্যবাহী স্পিনিং লেপ এবং গর্ভবোধের আবরণ প্রক্রিয়াগুলির সাথে তুলনা করে, এর উচ্চ অভিন্নতা, ভাল মাইক্রোস্ট্রাকচার এনক্যাপসুলেশন এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য লেপ ক্ষেত্রের সুবিধা রয়েছে। বিগত দশকে, ত্রি-মাত্রিক মাইক্রোস্ট্রাকচার ফটোরেসিস্ট লেপগুলির প্রয়োগ সম্পূর্ণরূপে প্রদর্শিত হয়েছে। অতিস্বনক অ্যাটমাইজেশন স্প্রে দ্বারা ফোটোরিস্ট কোটিংগুলি প্রস্তুত করার প্রক্রিয়াটি মাইক্রোস্ট্রাকচার প্যাকেজিং এবং অভিন্নতার দিক থেকে traditional তিহ্যবাহী স্পিনিং লেপগুলির চেয়ে উল্লেখযোগ্যভাবে উচ্চতর।
অতিস্বনক স্প্রেিং সিস্টেমটি সঠিকভাবে প্রবাহের হার, আবরণের গতি এবং নিষ্পত্তি ভলিউমকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে পারে। লো স্পিড স্প্রে ছাঁচনির্মাণ খুব পাতলা এবং অভিন্ন স্তর উত্পাদন করার সময় অতিরিক্ত স্প্রে এড়াতে স্প্রেটিকে একটি সঠিক এবং নিয়ন্ত্রণযোগ্য প্যাটার্ন হিসাবে সংজ্ঞায়িত করে। এই অতিস্বনক স্প্রেিং সিস্টেমটি সাব মাইক্রন থেকে 100 মাইক্রন পর্যন্ত বেধ নিয়ন্ত্রণ করতে পারে এবং যে কোনও আকার বা আকার কভার করতে পারে।
ফটোসিস্টের জন্য অতিস্বনক লেপ প্রযুক্তির বৈশিষ্ট্য:
◆ বিভিন্ন পৃষ্ঠের রূপের অভিন্ন ফিল্ম কভারেজ
◆ যোগাযোগ স্প্রেিং
◆ মাইক্রো এয়ারফ্লো স্প্রে, একাধিক তরল খাওয়ানো স্কিম
◆ উচ্চ গতি নিয়ন্ত্রণের নির্ভুলতা
◆ উচ্চ তরল ব্যবহারের হার
Constical রাসায়নিক এবং লেপ পারফরম্যান্সে উচ্চ নমনীয়তা
◆ উচ্চ সংক্রমণ দক্ষতা এবং ন্যূনতম বর্জ্য
◆ পুনরাবৃত্তিযোগ্য পরিপক্ক স্প্রে প্রক্রিয়া